尺寸：96×96mm。
種類：電源AC100～240V用。
外殼顏色：黑色。
控制輸出1：內置SSR輸出。
控制輸出2：內置SSR輸出。
控制模式：標準或加熱冷卻E3S-AT21-L手冊。
輔助輸出點數：2點。
加熱器用斷線、SSR故障檢測功能：單相或三相加熱器用檢測功能。
事件輸入點數：2點。
傳送輸出：傳送輸出（專用端子）E3S-AT21-L
遠程SP：4～20mA輸入。
通信：RS-485。
通用溫控器新增高性能（高分辨率、高速、高精度輸入）型產品。
支持簡易運算、預防維護。
采用可通過紅外線端口從前面進行通信的新型液晶，
可視角度、對比度得以提升E3S-AT21-L手冊。
高分辨率5位顯示/可顯示0.01°C。
高速采樣周期60ms。
全部機型完整多種（能夠熱電偶/Pt/模擬輸入切換），1臺機器支持多種傳感器。
還支持遠程SP。
增加PV/SV狀態顯示功能，方便查看溫控器的狀態（自動/手動、RUN/STOP、報警發生），
可交互顯示PV/SV。
通過支持軟件（CX-Thermo Ver.4.0）進行簡易運算功能（AND/OR邏輯和延時）設定，
能夠執行柔性的接點輸出E3S-AT21-L手冊。
增加控制輸出ON/OFF次數計數功能，可預測溫控器內部繼電器的故障。
備有位置比例型。晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂歐姆龍E3S-AT21-L指導手冊。
獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式。
使用環保導線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導線長：2m。端子部形狀:導線直出型。
保護管直徑D：φ1.6mm。
保護管長度L：15cm歐姆龍E3S-AT21-L指導手冊。
導線種類：耐熱用。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應品的基礎上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應部件。
可根據要測量的溫度、場所、 周圍環境選擇歐姆龍E3S-AT21-L指導手冊。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產品。種類：無螺釘夾具端子臺型，溫度輸入型。
本體：控制輸出1點型（電源AC/DC24V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數：1點。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能：--。
事件輸入點數：--。
傳送輸出：--。
通信：--。
48×24mm的通用溫控器已升級＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預防維護功能，性能進一步提升
提供端子臺型和無螺釘夾具端子臺型。
增加PV/SV狀態顯示功能，方便查看溫控器的狀態
（（自動/手動、RUN/STOP、報警發生），可交互顯示PV/SVE3S-AT21-L。
增加控制制輸出ON/OFF次數計數功能，
可預防維護溫控器內部繼電器E3S-AT21-L手冊。
3種顏色顯示切換當前值（PV）。
適用支持軟件（CX-Thermo-Ver.4.2以上）。
可11段數字顯示。
提供報警輸出1點型和2點型。